工業顯微鏡能否自己進行維護，取決于具體的維護內容和顯微鏡的復雜程度。以下是對此問題的詳細分析：

一、可以自己進行的維護

防塵措施：

每次用完顯微鏡后，用專業的防塵罩將顯微鏡及其附件遮蓋，以防止顯微鏡鏡頭及內部光學元件受到塵土的污染。注意，用防塵罩遮蓋顯微鏡前，先讓顯微鏡和燈冷卻，以防止出現水汽，因為防塵罩是不耐熱的。

定期用吹塵球或軟刷清除透鏡上的灰塵，保持清潔。

場地干燥：

顯微鏡應存放在濕度適宜（如60%±10%）的室內，以防止霉變。

日常擦拭：

使用柔軟的布或麂皮，輕輕擦拭顯微鏡的透鏡和機身，去除表面灰塵和指紋。

對于涂漆表面，灰塵和松軟易脫落的其他污物可以用柔軟的刷子或者不起毛的棉布清除；粘性污物可以使用酒精或者成分較低的肥皂水清除（但丙酮、二甲苯或者含硝基的稀釋液會損壞顯微鏡，因此禁止使用）。

對于載物臺，由于經常放置各種不同的樣品，會比較容易殘留污漬，每次使用完都應拿走樣品，并清潔載物臺，可以使用石蠟油或者不含酸的凡士林將載物臺上的淡色污點擦除。

光學元件清潔：

如果目鏡和物鏡的表面灰塵和污物很少，可以只用洗耳吹或不掉毛柔軟毛刷去除。

若灰塵和污物較多，可以準備清洗所需工具，如洗耳吹、棉簽、擦鏡紙（B須是專門用于高品質光學鏡頭的，存儲在有蓋容器中，防止空氣中的懸浮粒子污染）、無絨棉布、無水乙醇、無水乙醚等。擦拭幾次后，用洗耳吹吹去混合液。清潔光學元件前請切斷電源，避免意外發生。

材料顯微鏡低倍物鏡與體視顯微鏡有較大的前組鏡片，可以用纏在手上的棉布或棉簽及擦鏡紙上用乙醇乙醚混合液（常用比例為酒精：乙醚=3：7）沾濕后擦拭，使用合適的力度從鏡片中心以螺旋狀向外擦拭。材料顯微鏡高倍物鏡為了獲取高的平坦度，應用了一個有小曲率半徑凹面的前組鏡頭，可以使用棉簽沾濕后擦拭，擦拭鏡頭力度要輕，防止刮擦，并確認清潔到鏡頭的凹面。注意，物鏡不建議取下擦拭，因為物鏡安裝后需要對同心性和齊焦性進行調試。

機械維護：

定期檢查并潤滑機械部件，如旋鈕和滑軌，保持順暢。

二、需要專業人員進行的維護

精密組件清潔：

顯微鏡的一些精密組件，如濾色塊、內部光學元件以及相機等，應由廠家專業工程師進行清潔，用戶切勿擅自拆解。

專業維護和校準：

定期請專業人員對顯微鏡進行維護和校準，以確保顯微鏡的Z佳性能。

綜上所述，工業顯微鏡的部分維護工作可以自己進行，如防塵、日常擦拭、場地干燥等，但一些精密組件的清潔和維護則需要專業人員來進行。在自行維護時，務必遵循正確的步驟和方法，避免對顯微鏡造成損壞。